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準分子(Excimer)激光：準分子一詞的本意，是「兩個同種原子組成，而只存在于受激態的分子」，如稀有氣體分子He2、Ar2、Xe2等；其英文原名為 Excited Dimer 組合成的術語。現在現已將它的適用范圍放寬，以包含「不存在于基態，只以受激態出現的任何雙原子分子(有時還包含三原子分子)」。Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金屬的蒸汽，都是中性原子激光的自動介質。它們的蒸汽中，常混入低壓力的惰性氣體，以提高放電效率。激光切割機所用氣體的種類和作用： 1）空氣：①作為切割氣體使用 ②作為冷卻切使用 ③作為光路內部除塵使用（保護鏡片延長鏡片的使用時間） 2）普氧：作為切割碳鋼的氣體（助燃性）純度99.5% 3）純氮：作為切割不銹鋼的氣體（冷卻性）純度99.9%（切割碳鋼速度為3/4） 4）高純氮：作為激光器的使用氣體，純度：99.999% 5）高純氦：作為激光器的使用氣體，純度：99.999% 6）高純二氧化碳：作為激光器的使用氣體，純度：99.999% ；

中性原子激光中，常見的是氦氖激光。它的紅光尤其為我們所熟悉。它的光色顯著，所以常用作非可見光激光中的指引光束(Guiding beam)。其優越的同調性及方便的操作條件(只須氣冷、110V的電壓、價格相對地)，使它廣用于掃描讀碼設備及全像等。氣體激光(Gaseous laser)，以氣體為自動介質的激光中，包含中性原子激光、離子氣體激光、金屬蒸汽激光、分子氣體激光、準分子激光。近年來CO2激光加工設備雖然漸趨普及，但激光畢竟是一種新的工具，激光加工技術亦不同于傳統的加工方法，所以工業界在引進使用CO2激光器的過程中，曾經遇到各種各樣的問題，給很多廠商造成不少困擾。

中性原子激光中，常見的是氦氖激光。它的紅光尤其為我們所熟悉。它的光色顯著，所以常用作非可見光激光中的指引光束(Guiding beam)。其優越的同調性及方便的操作條件(只須氣冷、110V的電壓、價格相對地)，使它廣用于掃描讀碼設備及全像等。在激光焊接中，保護氣體會影響焊縫成型、焊縫質量、焊縫熔深及熔寬，極大多數情況下，吹入保護氣體會對焊縫產生積極的影響作用，但是也可能會帶來不利的作用。如果將氦（He）氖（Ne）激光作為代氣體激光，二氧化碳激光混合氣體是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪（KrF）激光，可稱為第三代激光。

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